阿斯麦的DUV每次冷启动都要完全置换气体，含有氖、氩、氟的准分子激光光源气体混合物很贵，至少要大几千迈元。
而且，DUV的激光腔寿命以脉冲数计数，每开关机一次，都会造成寿命的降低。
最重要的是，光刻机这东西也有点玄学，有可能关机前只是双工件台和光源系统有问题，重新开机后，不知道哪里又会蹦出新的问题。
“无非就是一点稀有气体的损失，问题不大。而且不需要冷启动，只需要在 HMI做模块复位，跑受影响子系统的qualification，二三十分钟就能结束，不会有什么大损失。”
方豫伸手敲了敲面前这台DUV的黄色外壳。
听了方豫的话，张博士不由得目瞪口呆。
你懂光刻机？
既然懂，怎么还说什么“我觉得”？
“这……这……可是……”
张博士一脑子浆糊，吭哧半天，也不知道该说什么好。
“重新自检，看看故障能不能排除，不能排除，我们再想办法。”方豫抱着双臂，语气轻松，却充满着不可置疑的味道。
“……那好吧。”张博士被迫妥协，叫来两个技术员打下手。
三人先在HMI终端上登录工程师权限，屏幕上弹出一连串灰底白字的系统菜单。
张博士伸手点进维护界面的子系统控制组群，找到了亮着红灯的工件台控制与光源模块。
“先做工件台自检吧。”
一通操作后，张博士点了一下对话框中的确认键，紧接着，就听到设备内部传来“咔、咔”几声电磁锁切换的清脆声响。
双工件台下方的真空泵开始抽气，伴随着低沉的气流声，整个平台缓缓降到维护位置。
宁雨震撼的看着这台大型设备的动作，充满了顶级机械工程的美感，感觉跟变形金刚似的。
几秒后，工件台的干涉仪和温控系统开始依次重新初始化，HMI上的进度条缓缓前进。
高精度激光干涉仪的红点在台面上来回扫描，反馈曲线在屏幕右侧实时抖动着趋于平稳。
整个过程也就持续了三四分钟，屏幕一闪，原本显示故障的位置瞬间变成了“Stage OK”的字样，警告状态瞬间消失。
消失了？
张博士身体一震，不可思议的揉了揉眼睛。
两名研究员也是一脸的惊诧，这台机器他们捣鼓了好久，双工件台仍旧只有
…。。