例投影到晶圆上，设计相对简单，分辨率也受到不小的限制。
如果可以提升到4:1，甚至是5：1的话。
解决100w集成度的标准，不会有任何问题。
除此之外，还可以在高数值孔径透镜和浸没式光学系统方面下功夫。
只不过以目前的技术来说，想要同时推进三者的研究，难度实在太大了。
好在也没必要在光学系统上死磕。
掩模技术上可以搞相移掩模、光学邻近矫正和多重图案技术。
光刻胶材料朝着深紫外光刻胶的方向发展。
机械和控制系统就去研制精密对准和调平系统。
多管齐下的话。
足够在短时间内实现集成度的迅速突破。
……
用了两个小时左右的时间。
李暮才将所有的内容都阐述完毕。
他说完后。
黄新华“唰唰~”地记完最后一笔，当即惊叹道：
“没想到你竟然还能找出这么多的办法，这下100w集成度的问题就都解决了！”
他忽然有点理解M帝和老大哥那边的心情了。
自己连落后的技术都还没有研究出来。
李暮这边一出手就是一堆的更新的方案，差距简直不要太明显。
而且他几乎可以肯定，这些方案具有极高的可信度。
只要给他们一些时间。
突破100w集成度没有任何难度。
“幸好这样的天才，是出在我们夏国啊！”黄新华心中感慨不已。
一旁的王绶觉也放下了笔记，笑道：
“也怪不得国外连用诺奖勾引你出去这种招都能用出来了，看来是真被逼急了！”
诺奖能获得现在的地位，得到全世界科学家的认可，可不容易。
就为了一个人，冒着损害半个世纪积累的声誉的危险来设计。
成本不可谓不高。
“还有得他们急眼的时候呢。”李暮微微笑道。
这才哪到哪。
等天基武器的消息一放出去。
M帝绝对会急得上蹿下跳。
……
解决了理论方向的问题后。
很快。
黄新华便带领着团队，展开研究。
李暮也没有闲着。
同样参与到当中，进行指导工作。
…。。