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第216章 你终于舍得出山了

作品:天才学霸?我只是天生爱学习作者:模拟空心菜
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“是的,老师。”

蔻依神色沮丧,“氧化镓工业化良率依旧很低,成本太高,根本达不到工业化的标准。”

大家在发现氧化镓后会这么兴奋,是因为氧化镓这种材料可通过熔体法,比如导模法、铸造法,生长大尺寸单晶,成本仅为碳化硅的1/3,且单晶生长速度更快,导模法生长速率达30mm/h,碳化硅仅2-5 mm/h。

这就意味着氧化镓性能更高,成本更低,生产速度还很快,具有极强的工业化潜力。

没想到因为制备设备的问题,导致氧化镓并没有达到理论的低成本,反而因为良率问题,成本远比预料的高得多,生产速度也远不及预期,想要完成工业化生产,目前的工艺显然是完全不够的。

上次她就来找过陈辉,说了关于温控还有材料缺陷控制等方面的问题,当时陈辉就给她指点了一下方向,没想到还没有解决。

倒是坩埚的问题,鄂维南院士已经解决了,他们利用陈辉的模型,研究出了一种新型的铜基材料,可以耐3000摄氏度的高温,解决了垂直布里奇曼法制备氧化镓时的一大难题。

“具体说说。”

陈辉好整以暇,胸有成竹的问道。

他从来不怕问题太难,有问题,反而是好事。

蔻依深吸一口气,问题实在太多,一时间竟不知道该从哪里说起好,在脑海中组织了好半天语言,才开口说道,“传统LSW模型假设熔体为理想溶液,但氧化镓熔体含镓空位和氧间隙等缺陷,实际扩散速率比模型预测低30%。”

“有限元仿真中热导率参数取经验值,氧化镓热导率1.9 W/m·K,但实际晶圆因杂质掺杂了Si、Mg,热导率波动±20%,导致温度场预测误差达±15%……”

“我们也考虑过引入机器学习,用超算来训练预测模型,但氧化镓晶圆量产中,缺陷数据,如位错、裂纹具有低概率、高维度特征,这就导致良品数据占比95%,缺陷数据仅5%,模型易陷入‘过拟合良品’,漏检缺陷率高达10%!”

鄂维南院士是机器学习方面的专家,引入机器学习倒也是应有之理,没想到这都遇到了问题,看来氧化镓的工业化的确没预想中的那么简单。

“氧化镓晶圆生长涉及温度场、流场、应力场、电场的多物理场耦合,导模法生长中,熔体流动影响温度梯度,温度梯度又导致晶体应力,传统单场仿真无法准确预测工艺结果……”

“量产产线要求工

…。。
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